КРЕМНІЙ НАПІВПРОВІДНИКОВИЙ, ТЕХНОЛОГІЇ ТА ПЕРСПЕКТИВИ
DOI:
https://doi.org/10.30890/2567-5273.2017-02-01-032Ключові слова:
кремний, состояние и перспективы производства, металлургический кремний, поликристаллический кремний, технология, монокристаллический кремний, структурное совершенство монокристаллов кремния, классификация дефектов, тепловые условия, радиационное воздейстАнотація
В статье приводится краткая история открытия кремния, описано современное состояние и перспективы производства поликристаллического кремния полупроводниковой чистоты в Украине и мире. Описаны применяемые технологии производства металлургического кремния иMetrics
Metrics Loading ...
Downloads
Опубліковано
2017-11-30
Як цитувати
Верховлюк, А., & Червоный, И. (2017). КРЕМНІЙ НАПІВПРОВІДНИКОВИЙ, ТЕХНОЛОГІЇ ТА ПЕРСПЕКТИВИ. Modern Engineering and Innovative Technologies, 1(02-01), 68–98. https://doi.org/10.30890/2567-5273.2017-02-01-032
Номер
Розділ
Статті